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阿爾卡特ALCATEL渦輪分子泵的注意事項

更新時間:2021-11-23      點擊次數(shù):946
   當前,阿爾卡特ALCATEL渦輪分子泵的基本結構基本定型為為臥式和立式兩種。它的轉子葉片具有特定的形狀,在它以20000~30000r/min的高速旋轉的同時,葉片將動量傳給氣體分子。葉片高速旋轉,其周邊的線速度一般200~300m/s,相當于空氣分子平均速率的一半。為了獲得高真空,渦輪分子泵中裝有多級。上級葉片輸送過來的氣體分子又會收到下級葉片的作用繼續(xù)被壓縮到更下級。因此,渦輪分子泵的的一個特點是對一般氣體的抽出極為有效。例如對于氮氣,其壓縮比可以達到109但是渦輪分子泵抽除分子質量較小的氣體能力較差,例如氫氣,其壓縮比僅有103。
  由于渦輪分子泵對于氣體的壓縮比很好,因此工作時油蒸汽的回流問題基本可以忽略不計。渦輪分子泵的極限真空度能達到10-8Pa的數(shù)量級,抽速可以達到1000L/s,達到最大抽速的壓力區(qū)間是1~10-8Pa之間,因此在使用時要以旋片機械泵作為其前級泵。
  阿爾卡特ALCATEL渦輪分子泵的注意事項:
  1、不能在前級泵工作時(前級管路接通)和真空室處于真空狀態(tài)時將渦輪分子泵停掉,否則將會使油蒸氣迅速從前級管路返流到泵的清潔端。
  2、分子泵系統(tǒng)在停機充干燥氣體前,一定要先將分子泵冷卻水關閉,且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級管路進行充氣。
  3、選擇系統(tǒng)前級泵的大小時,應使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態(tài)下。
  4、不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉速下運行。
  5、分子泵入口應裝設防護網(wǎng),以避免異物進入泵內損壞泵轉子和定子葉片。
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